一种无定向激光烧结互连工艺

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一种无定向激光烧结互连工艺
申请号:CN202510001831
申请日期:2025-01-02
公开号:CN119812017B
公开日期:2025-10-10
类型:发明专利
摘要
一种无定向激光烧结互连工艺,包括以下步骤:步骤一,选取适配的基板和芯片,并将所述基板和所述芯片清洗干净后进行预处理;步骤二,将互连材料置于芯片和基板中间作为互连层,使其形成芯片、互连材料和基板的互连结构;步骤三,通入保护气体,使用激光焊接机选取合适的激光参数,并设定激光束的照射方向,同时施加压力和超声且控制焊接时间对所述互连结构进行焊接;步骤四,室温下冷却后得到所述互连结构。无定向激光烧结互连工艺,包括细节距互连和芯片固晶,可以减少基板翘曲现象的出现,满足先进封装要求,用于解决上述的技术问题。
技术关键词
互连工艺 互连结构 激光焊接机 控制焊接时间 焊接载台 基板 六自由度机械手 纳米金属浆料 芯片 合金纳米材料 CO2激光器 YAG激光器 激光束 半导体激光器 超声驱动 翘曲现象 固晶胶
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