摘要
一种无定向激光烧结互连工艺,包括以下步骤:步骤一,选取适配的基板和芯片,并将所述基板和所述芯片清洗干净后进行预处理;步骤二,将互连材料置于芯片和基板中间作为互连层,使其形成芯片、互连材料和基板的互连结构;步骤三,通入保护气体,使用激光焊接机选取合适的激光参数,并设定激光束的照射方向,同时施加压力和超声且控制焊接时间对所述互连结构进行焊接;步骤四,室温下冷却后得到所述互连结构。无定向激光烧结互连工艺,包括细节距互连和芯片固晶,可以减少基板翘曲现象的出现,满足先进封装要求,用于解决上述的技术问题。
技术关键词
互连工艺
互连结构
激光焊接机
控制焊接时间
焊接载台
基板
六自由度机械手
纳米金属浆料
芯片
合金纳米材料
CO2激光器
YAG激光器
激光束
半导体激光器
超声驱动
翘曲现象
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