一种片上集成型多功能光子器件及其制备方法

本发明公开了一种片上集成型多功能光子器件及其制备方法，涉及多功能光子器件及其制备领域。本发明提供片上集成型多功能光子器件是由带有矩形刻蚀槽阵列的基片构成，槽阵列中相邻的基片材料和空气槽交替排布组成周期性单元。当电磁波沿不同方向射向刻蚀槽阵列的周期性结构时，由于薄膜干涉效应，不同的入射方向上该光子器件具有增透膜和增反膜的作用，在不同频段能够实现对波的高透射偏振转换、全透射以及完美反射功能。本发明的光子器件采用片上集成设计，使得器件能与现有的光子平台兼容，能将其嵌入到现有的光子芯片中，提升了器件的集成度、微型化程度和制造效率，且本发明能在同一平台上集成多个功能，提高了系统的综合性能。