基板处理装置、基板处理装置的控制方法以及基板搬送装置

本发明提供一种基板处理装置、基板处理装置的控制方法以及基板搬送装置。基板处理装置具备具有两个机械手的搬送机器人和控制部。两个机械手的两个支撑面的上下的支撑间隔设定为与两个基板载置台的两个载置面的上下的载置间隔一致。控制部进行使第一机械手前进的第一机械手前进动作，将基板交付到第一基板载置台，并进行使第一机械手后退的第一机械手后退动作。控制部进行使第二机械手前进的第二机械手前进动作，从第二基板载置台接收第二基板，并进行使第二机械手后退的第二机械手后退动作。控制部使第一机械手后退动作和第二机械手前进动作并行地进行。