对图像进行分类的方法和设备、以及半导体制造工艺的缺陷检查系统

提供了对图像进行分类的方法和设备、以及半导体制造工艺的缺陷检查系统。所述对图像进行分类的方法包括：基于所述图像生成注意力掩模；通过基于注意力掩模对所述图像执行基于注意力的域适应来更新图像分类装置；以及使用更新后的图像分类装置来确定所述图像的类别。