电子束检测设备的光阑定位精度的检测方法及相关产品

本发明涉及一种电子束检测设备的光阑定位精度的检测方法及相关产品。检测方法包括：获取基准图像以及光阑的基准对中坐标；基准对中坐标为在光阑与电子束检测设备的电子光学系统对中的情况下光阑的位置坐标，基准图像为在光阑与电子光学系统对中的情况下得到的背散射电子像；重复执行光阑的移动对准流程，以得到多个实测对中坐标；移动对准流程配置成：从预设的初始坐标移动光阑至背散射电子像和基准图像同心的位置，实测对中坐标为移动对准后光阑的坐标；根据多个实测对中坐标和基准对中坐标，得到光阑的定位精度。本发明方案可定量地得到电子束检测设备的光阑的定位精度，从而为判断该电子束检测设备是否满足检测精度要求提供依据。