基于数据融合的半导体设备故障预测与维护方法及系统

本发明提供一种基于数据融合的半导体设备故障预测与维护方法及系统，涉及半导体设备故障预测与维护技术领域，包括采集多源传感器数据，构建工艺‑应力‑材料多维状态模型，计算关键部件失效概率。当失效概率超过阈值，触发故障诊断流程，基于数字孪生模型进行故障模式识别，并结合历史数据预测故障发展趋势。最后，构建维护目标函数，利用自适应优化算法和维护决策规则库确定最优维护方案，并进行维护引导。本发明通过构建维护知识图谱，实现故障预测与维护能力的持续优化，提高了半导体设备的可靠性和生产效率。