制备方法、量子随机数安全芯片及量子密钥生成方法

本发明提供了一种制备方法、量子随机数安全芯片及量子密钥生成方法，主要涉及量子随机数产生技术领域。其中，制备方法包括：采用三维堆叠结构，将量子熵源芯片裸片与安全处理模块分别布置在基板的第一表面和基板的第二表面，其中，基板的第二表面上配置有多个铜柱；采用塑封工艺对基板的第一表面和基板的第二表面进行塑封，以得到包裹基板的塑封结构；利用晶圆扇出方式，将配置在基板的第二表面上的基板焊盘重定向至基板的扇出区域，以将裸露在塑封结构之外的多个铜柱的凸点作为量子随机数安全芯片的对外引脚，得到量子随机数安全芯片。