利用平面互电容进行检测的触觉传感器、机械手、足底穿戴设备

本发明涉及一种利用平面互电容进行检测的触觉传感器、机械手、足底穿戴设备，包括感测单元、CDC、数字处理电路；感测单元设有柔性电极，柔性电极形成有弹性曲面凸起，每个凸起对应第一第二检测电极，两者形成平面互电容；每个凸起与对应检测电极之间设有绝缘层，第一检测电极和第二检测电极之间的间隙形状被配置为在凸起投影面积内凸起随受力的形变逐步改变间接接触第一检测电极与第二检测电极的面积和/或两者之间的互电容间隙路径的长度；每个柔性电极在进行检测电极电容采样时被配置为与地耦合；CDC分别耦合各个检测电极；数字处理电路，用于逻辑处理和/或逻辑顺序控制，与CDC耦合。