芯片共面性检测装置及方法

本申请提供一种芯片共面性检测装置，包括：直线驱动机构、激光扫描头与检测台面。直线驱动机构包括活动部与驱动部，驱动部用于驱动活动部沿预设的活动轨迹做直线往复运动。激光扫描头与活动部固定连接，当驱动部驱动活动部运动时，活动部带动激光扫描头沿预设的活动轨迹做直线往复运动。检测台面用于放置待检测芯片，激光扫描头的检测平面与检测台面靠近待检测芯片的一侧重合。本申请通过设置直线驱动机构带动激光扫描头沿直线运动，并将待测芯片放置于独立的检测台面上进行检测，从而防止待测芯片发生移动，提高检测精度。