一种半导体生产用化学溶液分离装置

本发明属于半导体技术领域，具体为一种半导体生产用化学溶液分离装置；包括防护箱体；防护方板，安装于防护箱体内部，并将防护箱体内部分隔为上腔体和下腔体；以及分腔液离机构，用于在上腔体/下腔体内使用生产芯片所需的化学溶液；所述分腔液离机构包括：两个伸缩气缸，对称连接于防护箱体的底部，且每个伸缩气缸包括一输出端，所述输出端延伸出防护箱体底部；两个位移横板，分别设置于两个伸缩气缸的输出端上；通过分腔液离机构得以避免不同种类的高腐蚀性化学溶液之间混合导致产生剧烈的化学反应，降低了半导体芯片在生产时所存在的安全隐患和风险，同时避免对周围的工作人员的身体健康造成危害，提升了半导体芯片的生产效果。