晶圆的加工调度方法和装置

本申请提供晶圆的加工调度方法和装置，该方法包括基于所述目标机台信息和所述目标晶圆加工信息从离线调度方案库中查询离线调度方案；若从所述离线调度方案库中查询得到目标离线调度方案，则输出所述目标离线调度方案作为所述待加工晶圆的加工调度方案；若从所述离线调度方案库中没有查询得到所述目标离线调度方案，则基于所述目标机台信息和所述目标晶圆加工信息生成所述待加工晶圆的在线调度方案，输出所述在线调度方案作为所述待加工晶圆的加工调度方案；执行所述待加工晶圆的加工调度方案。采用本申请，可丰富加工调度方案的获取方式，增强获取加工调度方案的灵活性，并进一步提高晶圆的加工调度处理能力，适用性强。