晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法

本发明提出一种晶圆盒搬运机器人，晶圆盒搬运机器人，包括：底座，其内部设置有抽拉板，抽拉板滑动连接于底座上；第一移动组件，滑动连接于抽拉板上；第二移动组件，枢转连接于第一移动组件上；机械手，枢转连接于第二移动组件上，机械手用于搬运晶圆盒；以及装载架，连接于底座上，装载架上设置有定位套框，定位套框用以放置晶圆盒；其中，当抽拉板位于底座内部时，第二移动组件的移动方向、机械手的延伸方向和抽拉板的延伸方向平行；当抽拉板抽拉于底座外部时，第二移动组件的移动方向与抽拉板的延伸方向垂直，机械手的延伸方向与抽拉板的延伸方向平行。本发明可提高晶圆盒的搬运效率，保证晶圆转移的安全性和完整性。