样品真空转移装置、转移样品方法及其扫描电镜

本申请公开了样品真空转移装置、转移样品方法及其扫描电镜。其中样品真空转移装置包括样品盒以及预抽室，样品盒包括内壳体，内壳体包括放置样品的容纳腔，容纳腔的周壁上开设有取放样品的开口；外壳体，其包括凹槽，凹槽的上端壁上开设有通孔；凹槽敞口朝下的套设在内壳体的外部；导向杆，其一端与内壳体固定连接，另一端向远离内壳体方向延伸；当所述样品盒装配在所述预抽室上后，使用所述导向杆在所述预抽室中打开所述容纳腔，将样品盒中的样品转移到预抽室中。本方案中的样品在转移过程中始终处于保护气体的保护之下，无需再对样品仓进行抽真空操作，节省了样品的检测准备时间，提高了样品的检测效率。