一种低功耗多输入多输出热光开关芯片

本发明公开了一种低功耗多输入多输出的热光开关芯片，包括N个光输入端口，一个N×N光分束器，N个螺旋波导热光移相器，一个N×N光合束器以及N个光输出端口。所述N×N光分束器和N×N光合束器采用同样的设计结构，包括N个单模输入/输出波导、N个宽度渐变波导过渡区(taper区)和一个多模波导区，每个单模输入和输出波导通过宽度渐变波导过渡区连接至多模波导区。所述螺旋波导热光移相器包括两个异尺寸螺旋波导、一个宽度渐变S弯和一个圆环形加热电极。通过调节所述螺旋波导热光移相器可以改变光在芯片中的传输路径，实现光开关切换的功能。本发明具有集成度高，高度可扩展性，低功耗，可以用于集成光子芯片领域。