用于晶圆盒配件的检测识别设备

本申请涉及一种用于晶圆盒配件的检测识别设备，包括设备壳体，所述设备壳体的内部形成有检测作业腔；检测载台，所述检测载台设置于所述检测作业腔的内部，所述检测载台用于承载待检测的晶圆盒；第一检测模组，所述第一检测模组装设在所述检测作业腔的内壁上，用于检测所述晶圆盒上的第一配件、第二配件和第三配件是否存在缺失；第二检测模组，所述第二检测模组装设在所述检测载台上，用于检测所述晶圆盒上的第四配件是否存在缺失；以及识别检测器件，所述识别检测器件装设在所述检测载台上，用于检测所述晶圆盒的识别芯片是否存在缺失。完成检测后的晶圆盒能正常流转至半导体晶圆制造工厂，保证工厂正常生产和节拍，避免影响生产效率。