一种芯片堆叠结构及其封装方法

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一种芯片堆叠结构及其封装方法
申请号:CN202510071924
申请日期:2025-01-16
公开号:CN119890184A
公开日期:2025-04-25
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种芯片堆叠结构及其封装方法,芯片堆叠结构包括第一堆叠层以及与其背面键合的第二堆叠层,第一堆叠层在其纵截面上包括:位于正面的第一基底,以及位于背面的第一重布线层;依次设置于第一基底上的第一芯片和第二芯片叠层,位于第一基底上的第一铜柱;第二堆叠层包括:依次设置于第一基底上的第三芯片和第四芯片叠层,位于第二基底上的第二铜柱,以及位于第二堆叠层背面的第二重布线层。第二堆叠层通过第二重布线层与第一对叠层键合,使得第二铜柱与第一铜柱键合,得到所述芯片堆叠结构。本发明提供的芯片堆叠结构通过在特定层引入重布线层或大焊盘,合理得拆分再组合的方式,进行芯片堆叠,降低加工难度,提升产品的良率。
技术关键词
芯片堆叠结构 堆叠层 基底 焊盘 焊球 封装方法 正面 通孔 绝缘材料 重布线 抛光
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