摘要
本发明提供一种芯片堆叠结构及其封装方法,芯片堆叠结构包括第一堆叠层以及与其背面键合的第二堆叠层,第一堆叠层在其纵截面上包括:位于正面的第一基底,以及位于背面的第一重布线层;依次设置于第一基底上的第一芯片和第二芯片叠层,位于第一基底上的第一铜柱;第二堆叠层包括:依次设置于第一基底上的第三芯片和第四芯片叠层,位于第二基底上的第二铜柱,以及位于第二堆叠层背面的第二重布线层。第二堆叠层通过第二重布线层与第一对叠层键合,使得第二铜柱与第一铜柱键合,得到所述芯片堆叠结构。本发明提供的芯片堆叠结构通过在特定层引入重布线层或大焊盘,合理得拆分再组合的方式,进行芯片堆叠,降低加工难度,提升产品的良率。
技术关键词
芯片堆叠结构
堆叠层
基底
焊盘
焊球
封装方法
正面
通孔
绝缘材料
重布线
抛光
系统为您推荐了相关专利信息
散热垫块
焊球阵列
封装结构
TSV转接板
热界面材料层
胶囊材料
效应评价方法
图像识别分析技术
复合颗粒
生态恢复
改性氧化铝
有机聚硅氧烷
氢聚硅氧烷
芯片贴装材料
光学半导体装置
二维材料薄膜
薄膜剥离机构
装载运输设备
定心器
控制组件