基于梯度原子层断裂的柔性电阻式压力传感器及其制备方法

本发明公开了一种基于原子层断裂效应的柔性压力传感器，通过ALD与磁控溅射协同工艺在柔性基底上构建梯度镀膜层，利用压力诱导的微裂纹扩展实现高灵敏度电阻检测。相较于传统方案，本传感器灵敏度提升5倍，制造成本降低60%，适用于医疗监测、机器人触觉等场景。