摘要
本发明公开一种无刻蚀台面的Micro‑LED芯片及其制备方法,Micro‑LED芯片包括:发光结构,包括衬底层、N型氮化镓层、多量子阱层和P型氮化镓层;发光结构边缘露出N型氮化镓层;选择性凹槽阵列,位于P型氮化镓层的上方,选择性凹槽阵列包括多个凹槽结构、以及围绕凹槽结构绝缘结构;凹槽结构露出P型氮化镓层;选择性凹槽阵列还露出N型氮化镓层;薄膜结构,包括电流扩散层和金属电极;薄膜结构位于凹槽结构中P型氮化镓层的上方,以及N型氮化镓层的上方;电流扩散层与P型氮化镓层接触,电流扩散层还与N型氮化镓层接触。采用上述技术方案,可避免对Micro‑LED像素单元的侧壁造成损伤,从而提高芯片性能。
技术关键词
N型氮化镓层
发光结构
薄膜结构
LED芯片
光刻胶结构
凹槽结构
绝缘结构
衬底层
阵列
台面
氮化镓基外延片
光刻胶层
金属电极
LED像素
多量子阱层
电流
四边形
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