一种磁场矢量传感器与集成化工艺方法

本发明公开了一种磁场矢量传感器，包括SOI衬底以及设置在SOI衬底上的六个具有平面结构的磁敏器件，其中，第一磁敏器件与第二磁敏器件组成第一对差分结构用于检测x方向磁场，第三磁敏器件与第四磁敏器件组成第二对差分结构用于检测y方向磁场，第五磁敏器件与第六磁敏器件组成第三对差分结构用于检测z方向磁场。本发明公开的磁场矢量传感器，能够完成空间中被测点的磁场矢量检测，且具有较高的磁灵敏度一致性、较低的交叉干扰，该结构工艺简单，成本低，易于批量生产。