微纳结构表面缺陷智能检测方法及其系统

本发明涉及缺陷检测方法技术领域，更具体地说，涉及微纳结构表面缺陷智能检测方法及其系统，控制自动化样品台使搭载的样品进行三维方向的移动，获取多幅小范围微距图像；对所述多幅小范围微距图像进行拼接，组成高分辨率图像；基于所述高分辨率图像，通过深度学习的卷积神经网络模型进行分析，识别出微纳结构表面的缺陷；根据识别结果，生成测试用例集，模拟不同采样参数在微纳结构表面获取的图像；计算系统的性能参数指标，评估系统的可行性；对所述高分辨率图像进行数字化处理，实现所述微纳结构表面的缺陷检测，本发明提出的自动化高分辨率图像采集和拼接技术，大大减少了人工干预，提高了数据获取的效率和质量。