摘要
本申请涉及芯片加工领域,尤其涉及一种半导体芯片加工设备及方法,一种半导体芯片加工设备,其技术方案是,包括送料装置,用于传送物料;移转装置,位于送料装置的出料端;接料装置,位于移转装置出料端;传送装置;调节装置,位于传送装置的进料端;检测装置一,位于传送装置上方;存料装置一;涂抹装置;存料装置二;振动装置,位于存料装置二出料端;吸附装置,位于振动装置上方,所述吸附装置上设有若干吸附槽;检测装置二,位于吸附装置移动路径;清理装置,位于检测装置二与振动装置之间;检测装置三,位于传送装置出料端;移料装置,位于传送装置出料端;出料装置;收集装置。本申请具有提高芯片加工效率的效果。
技术关键词
直线电机
吸附装置
半导体芯片
存料装置
振动装置
送料装置
涂抹装置
调节气缸
锡球
清理装置
移料装置
收集检测装置
吸附块
检测芯片
调节座
传送接料装置
振动座
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