支持芯片级封装的集成电路器件

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支持芯片级封装的集成电路器件
申请号:CN202510102744
申请日期:2025-01-22
公开号:CN120379256A
公开日期:2025-07-25
类型:发明专利
摘要
集成电路器件包括在基板上的下电路图案、在下电路图案上的位线、在位线上的栅电极结构以及延伸穿过栅电极结构的存储沟道结构。存储沟道结构包括在位线上的第一盖图案、在第一盖图案上的沟道、在沟道上的第二盖图案、以及在第一盖图案、沟道和第二盖图案的外侧壁处的电荷存储结构。公共源极板(CSP)提供在存储沟道结构上。
技术关键词
栅电极结构 沟道结构 接合结构 电荷存储结构 集成电路器件 图案结构 蚀刻停止层 基板 位线 绝缘 芯片级封装 焊盘 缓冲
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