摘要
集成电路器件包括在基板上的下电路图案、在下电路图案上的位线、在位线上的栅电极结构以及延伸穿过栅电极结构的存储沟道结构。存储沟道结构包括在位线上的第一盖图案、在第一盖图案上的沟道、在沟道上的第二盖图案、以及在第一盖图案、沟道和第二盖图案的外侧壁处的电荷存储结构。公共源极板(CSP)提供在存储沟道结构上。
技术关键词
栅电极结构
沟道结构
接合结构
电荷存储结构
集成电路器件
图案结构
蚀刻停止层
基板
位线
绝缘
芯片级封装
焊盘
缓冲
系统为您推荐了相关专利信息
剂量评估方法
分立器件
电路系统
集成电路器件模型
降压芯片
图像传感器器件
互连结构
电耦合
源极跟随器
晶体管
柔性轴承
轴承外圈
轴承内圈
沟道结构
深沟球轴承
等效电路模型
参数提取方法
GaNHEMT器件
寄生电容值
退火算法