晶圆搬运机器人

本申请涉及晶圆搬运机器人，手臂取料结构件设置于主转动件上，用于在主转动件带动下转动；第一转动组件设置于主转动件上，第二转动组件转动设置于第一转动组件上，取料组件设置于第二转动组件上；驱动电机设置于主转动件中且与第一转动组件连接，用于驱动第一转动组件转动，带动第二转动组件转动，在第一转动组件及第二转动组件转动的状态下，带动取料组件直线移动。只采用一个驱动电机驱动第一转动组件、第二转动组件及取料组件实现联动，无需多电机协同即可带动取料组件直线移动从而实现取料及搬运，因此可以快速、准确、高效地进行晶圆搬运，适用于搬运各种不同规格的晶圆，具有适用性广，体积小，结构简单，功耗低，控制简单、高效等优点。