一种基于多线激光的晶圆组完整性检测方法

本发明公开了一种基于多线激光的晶圆组完整性检测方法，涉及晶圆完整性检测领域，所述晶圆组包括沿第一方向竖直间隔排列的多片晶圆；检测晶圆组完整性时，利用若干激光器生成多束沿第二方向间隔排布且相互平行的线激光，每束线激光均照射至晶圆组中所有晶圆的边缘；采集检测图像，检测图像包括多片晶圆边缘反射多束线激光所形成的所有光斑；对检测图像进行预处理得到预处理图像，获取光斑特征并根据光斑特征筛选得到有效光斑；对所有有效光斑进行特征提取，以得到每个有效光斑在图像坐标系中的特征点坐标，基于有效光斑的特征点坐标形成晶圆组分布图，并根据晶圆组分布图判断晶圆组的完整性。该方法能够在复杂环境中高效精准地检测晶圆的完整性。