摘要
本申请涉及超声波传感器领域,提供一种超声波传感器、超声波指纹识别模组及电子设备,超声波传感器包括:衬底,所述衬底内具有第一凹槽;信号处理芯片,所述信号处理芯片位于所述第一凹槽内;绝缘层,所述绝缘层位于所述衬底上以及所述第一凹槽内;声电转换层,所述声电转换层位于所述绝缘层上,所述声电转换层包括:层叠的底电极层、压电层、顶电极层以及保护层,所述底电极层位于所述绝缘层上;互连层位于所述衬底与所述声电转换层之间,所述互连层至少用于连接所述信号处理芯片与所述底电极层。本申请实施例提供的超声波传感器、超声波指纹识别模组及电子设备至少可以增大传感器芯片检测面积的同时,降低工艺制造成本。
技术关键词
超声波指纹识别模组
信号处理芯片
超声波传感器
声电
衬底
焊盘
升压芯片
电极
电子设备
凹槽
电路板
导电柱
传感器芯片
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