一种基于相干轴向衍射计算的深亚波长散射体粒径评估方法

本发明公开了一种基于相干轴向衍射计算的深亚波长散射体粒径评估方法，属于光学成像及微观结构分析技术领域，包括：获取图像，对图像进行预处理；对预处理后的图像进行量化，获取像面散射体每个轴向位置的散射光能量浓度，基于散射光能量浓度获取散射光能量离焦后的衰减情况，并对离焦衰减进行补偿；提取主峰峰值位置和主峰宽度，基于已知特征尺寸的深亚波长散射体样本，将提取到的主峰峰值位置和宽度数据分别与对应的散射体特征尺寸进行关联分析，构建出峰值位置映射函数以及峰宽映射函数；基于构建的函数进行粒径评估。本发明克服了传统方法的信噪比低、离焦干扰大及适用性差等问题，显著提升了粒径评估的精度与普适性。