FinFET工艺的布线轨道网格生成方法及相关设备

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FinFET工艺的布线轨道网格生成方法及相关设备
申请号:CN202510125053
申请日期:2025-01-27
公开号:CN119558260B
公开日期:2025-05-02
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种FinFET工艺的布线轨道网格生成方法及相关设备,涉及EDA软件领域,该方法包括:将与FinFET的目标布线层相邻的各个布线层的默认网格投影至目标布线层,以得到目标布线层的备选网格;获取目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和目标布线层的备选网格的设计检查规则评估值;根据目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和目标布线层的备选网格设计检查规则评估值,从目标布线层的默认网格和备选网格中获取目标布线层的布线轨道网格。
技术关键词
检查规则 网格生成方法 FinFET工艺 轨道 掩膜技术 启发式算法 布线工艺 节点 机器学习算法 标准单元 投影单元 EDA软件 逻辑 生成装置 处理器 可读存储介质 短路
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