用于使用AI模型生成用于掩模制造的掩模图像的方法和设备

提供了一种用于使用AI模型生成用于制造掩模的掩模图像的方法和设备。所述方法包括：使用第一人工智能（AI）模型从目标图案生成掩模图像；基于掩模图像与根据掩模规则校正后的掩模图像之间的差，来计算第一损失函数；以及基于第一损失函数更新第一AI模型。