晶圆检测方法、系统、装置、存储介质、计算机程序产品

本申请公开了一种晶圆外观缺陷检测方法，用以解决现有的晶圆外观缺陷检测主要依赖于人工的观察和判断，导致现有晶圆检测方案存在检测效率低以及检测准确度较差的问题。方法包括：在多光源下对待检测晶圆物料进行预设次数的图像采集，得到待检测物料对应的多组待检测晶圆图像；根据缺陷检测模型以及定位模型，确定各组待检测晶圆图像对应缺陷数据以及正常数据；分别对各组待检测晶圆图像对应的缺陷数据以及正常数据进行合并，得到各组待检测晶圆图像对应的单张图像检测结果；将各组待检测晶圆图像对应的单张图像检测结果进行合并，得到待检测晶圆物料对应的检测数据，根据检测数据确定待检测晶圆物料是否存在外观缺陷。