一种MOS芯片和晶圆用清洗设备

本发明公开了一种MOS芯片和晶圆用清洗设备，涉及MOS芯片和晶圆清洗技术领域，包括底座和支板，所述支板放置在底座上，所述支板上固定设置有多组下限位件，每组所述下限位件均配合连接有一组上限位件，相邻的所述上限位件固定设置，相互配合的所述下限位件与上限位件相互拼接成整圆形，相互配合的所述下限位件与上限位件内侧均配合设置有晶圆固定半环。本发明在使用时，当对接旋钮与对接块对接时，电机带动传动轴旋转，传动轴带动多组传动轮旋转，每组传动轮均通过相应的驱动开口带动相应的两组半环体运动，进而实现对晶圆的驱动效果，使得晶圆相对擦板运动，从而便于实现擦板对晶圆表面的清理，同时通过喷头进行冲洗，提高清洗的效果。