摘要
本发明公开了一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜,涉及探针显微镜领域,其包括:扫描盒;样品盛放机构,装配于扫描盒内,用于盛放样品;检测台,滑动连接于扫描盒内,用于安置检测探针;扫描台,转动连接于扫描盒内,所述扫描台的上表面均匀开设有用于安置扫描探针的扫描探针盛放槽;采集模块,用于采集检测探针的反馈数据;探针识别模块,用于将反馈数据输入训练完成的探针识别模型,输出探针类别;分析模块,基于探针类别生成调节指令;控制模块,基于调节指令调整扫描台角度;通过对检测探针的检测结果分析,并通过扫描台切换最适合的扫描探针进行扫描,提升扫描效果。
技术关键词
扫描探针显微镜
扫描台
检测探针
机器学习模型
样品盒
样品台
盛放机构
传动轴
调节齿杆
检测台
朴素贝叶斯模型
识别模块
分析模块
支持向量机模型
数据
齿条
指令
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