一种基于光纤MEMS技术的拉绳式位移传感器

本发明涉及一种基于光纤MEMS技术的拉绳式位移传感器，包括：安装盒体、复位组件、线轮组件、位移缩小组件和MEMS位移计，复位组件采用涡簧结构，线轮组件为拉绳牵引带动线辊并将旋转运动依次传递至位移缩小组件中的丝杆和涡簧轴，丝杆上随旋转移动的连接座带动位移计内MEMS芯片与准直器发生位移变化进而将光信号传递至外部解调设备，由此实现了拉绳的可读性。本发明采用光纤MEMS技术，不受电磁辐射和温度变化干扰；使用涡簧复位方式，复位精度高，可重复多次使用，方便安装和拆卸，提高测量速度；使用理论算法和高精度标定结合的方式，在煤矿、隧道、桥梁等工程检测领域提供精确稳定的数据支撑，在工程监测中可发现被观测对象的微小变化以达到预警效果。