一种提高石英摆片挠性梁对称性的刻蚀夹具及刻蚀方法

本发明涉及一种提高石英摆片挠性梁对称性的刻蚀夹具及刻蚀方法，刻蚀夹具包括夹具组件及刻蚀支架；夹具组件包括顶盖、金属掩膜、橡胶掩膜、定位环及底座；定位环内壁制有定位环内壁凸耳，定位环外壁沿圆周方向均匀制有定位环外壁凸耳；底座中心制有阶梯定位孔，阶梯定位孔上孔外壁沿圆周方向均匀制有定位凹槽；定位环内安装的石英摆片的上下两端均对称安装金属掩膜和橡胶掩膜，并通过顶盖卡装在底座的阶梯定位孔内，螺接固定。本发明既对石英摆片进行精准定位、限位夹持，又防止石英摆片、金属掩膜、橡胶掩膜及定位环安装过程发生扭转、偏移，降低安装难度，刻蚀方法提高石英摆片挠性梁的对称性。