一种可缩短晶圆传输时间的匀胶设备

本发明申请涉及一种可缩短晶圆传输时间的匀胶设备，属于半导体制造设备技术领域，可缩短晶圆传输时间的匀胶设备包括：机架、盒站单元、盒站机器人、工艺处理单元、匀胶单元、工艺机器人，盒站单元、盒站机器人、多个工艺处理单元、匀胶单元依次排列设置，工艺处理单元包括冷盘单元、热盘单元和对中单元，冷盘单元、热盘单元之间形成中间区域，盒站机器人和工艺机器人至少部分设置在中间区域前后，盒站机器人和工艺机器人仅旋转和升降以对晶圆的传输。本发明申请能够充分发挥盒站机器人、工艺机器人的工作效能，加速整个晶圆匀胶工艺的生产流程，提升晶圆匀胶设备的工作效率。