用于PVD镀膜的基材表面清洁度检测方法和装置

本申请公开了一种用于PVD镀膜的基材表面清洁度检测方法和装置，通过部署于PVD生产线的关键位置处的摄像头采集PVD镀膜基材表面状态图像，并利用基于计算机视觉的图像分析和编码技术来对所述PVD镀膜基材表面状态图像进行全景分割，接着对分割后的PVD镀膜基材表面状态掩码表示图进行特征提取，同时对所述PVD镀膜基材表面状态图像进行网格划分和网格特征提取，以此来基于PVD镀膜基材表面状态网格特征和PVD镀膜基材表面状态掩码特征之间的细粒度消融多维语义编码表示来自动地生成PVD镀膜基材表面的清洁度标签，并据此判断是否产生警告信号。这样，能够即时生成清洁度标签，实现连续生产过程中的实时监测，进而提高清洁度检测的准确性。