版图图形的处理方法、装置、设备、介质及产品

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版图图形的处理方法、装置、设备、介质及产品
申请号:CN202510159867
申请日期:2025-02-13
公开号:CN119758661A
公开日期:2025-04-04
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种版图图形的处理方法、装置、设备、介质及产品,属于图形处理技术领域,该方法包括:获取第一版图图形,第一版图图形为经过光学邻近效应修正算法处理后的图形,其中,第一版图图形的边包括多条非变量边和多条变量边,其中,每条非变量边连接在相邻两条变量边之间;对第一版图图形中的边进行合并操作,将多条非变量边转换为对应的多条新的变量边,得到第二版图图形;对第二版图图形中的至少部分边进行优化,得到第三版图图形,通过将第一版图图形中的非变量边转换为变量边,之后对包括多条新的变量边的第二版图图形进行优化,得到第三版图图形,可以提升在对第三版图图形进行真实曝光后的图形质量。
技术关键词
版图图形 光学邻近效应修正 变量 计算机程序指令 图形处理技术 偏差 可读存储介质 计算机程序产品 处理器 断点 算法 电子设备 存储器 模板
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