摘要
本发明公开了一种集成TFT结构的Micro‑LED芯片及其制备方法和透明显示面板,Micro‑LED芯片包括衬底、衬底上的外延层以及外延层上的TFT结构;外延层设置有n型电极和p型电极;TFT结构包括缓冲层、第一介电层和电极结构,第一介电层中设置有开关、驱动和电容;开关包括第一源极、第一栅极和第一漏极,驱动包括第二源极、第二栅极和第二漏极,电极结构包括开关电极、驱动电极以及电容电极;第一介电层中设置第一引出孔,第一引出孔内设置有分别将第一源极、第一漏极、第二源极和第二漏极引出的结构。本发明将TFT结构的开关、驱动和电容的电路直接集成在Micro‑LED芯片上,能够有效提升显示面板的透明度。
技术关键词
TFT结构
LED芯片
透明显示面板
多晶硅活性层
电极结构
外延
金属线
介电层材料
开关
衬底
电容
栅极
缓冲层
层暴露
沟槽
透明度
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