一种半导体芯片加工用的自动摇盘取放料装置

本发明公开了一种半导体芯片加工用的自动摇盘取放料装置，涉及半导体芯片加工技术领域，包括底盘和除尘组件，所述底盘上方设置有托盘，所述除尘组件设置于托盘内侧，所述除尘组件包括通槽、通气口、通气槽、收集盒、转盘、环槽、置料槽、通气孔、分流槽、抽气口、滤框、气泵和出气管，所述托盘下表面一侧设置有通槽。本发明在使用时，可以在取放物料时，将物料吸附固定，并在转移过程中对其进行检测，在转移物料时可通过气流对灰尘进行去除并收集，避免灰尘粘附，且在放置物料时可自动对物料进行定位，避免物料偏移，检测完成后，也可解除对物料的限制，从而在转移过程中将不合格的物料筛除，完成对物料的自动分选。