搬运箱、晶圆搬运系统及方法

本申请涉及一种搬运箱、晶圆搬运系统及方法，搬运箱包括：箱体具有用于容纳腔，箱体沿第一方向一侧设有与容纳腔连通的敞口；摆动机构包括摆臂与拉绳，摆臂转动连接于箱体沿第二方向一侧；箱体背离敞口一侧为第一表面，在第三方向上，摆臂与第一表面之间的距离逐渐增大，摆臂与第一表面之间的最大距离，大于箱体在第一方向上的尺寸；拉绳一端与容纳腔的腔壁连接，另一端与摆臂连接，拉绳被配置为：在晶圆载具作用下，拉绳张紧并拉动摆臂远离第一表面的一端靠近第一表面。综上所述，本实施例中的搬运箱，通过设置摆臂与拉绳，以使机械臂只能在容纳腔内放置晶圆载具的情况下，朝箱体内放置晶圆，可以减小机械臂的受损概率与晶圆成品的受损概率。