单片异质集成透明红外图像传感器件及其制备方法

本发明提供了单片异质集成透明红外图像传感器件及其制备方法，能够通过新的材料选择和制备方法，可以实现大面阵像素点图像传感器制备和动态实时成像，能够同时结合高灵敏度的红外探测与良好的光学透明性。该单片异质集成透明红外图像传感器件，包括衬底、形成于衬底上的薄膜晶体管阵列、形成于薄膜晶体管阵列上的光敏材料；衬底为透明材质；薄膜晶体管阵列中的薄膜晶体管以ITO作为电极，薄膜晶体管阵列用于图像读出；光敏材料在衬底上的图案为：固定线宽和线间距的线阵列。并针对性提供了针对该红外图像传感器件的制备方法。