高效分流的压电微流控器件以及终端设备

本申请公开了一种高效分流的压电微流控器件。该微流控器件包括基底、压电薄膜以及驱动电极，压电薄膜覆盖于基底的第一面；基底的第一面处形成有凹槽，压电薄膜与凹槽围成密闭的微流道腔室；驱动电极设置于压电薄膜上，驱动电极被配置为通过电信号驱动压电薄膜振动以引导流体样品在微流道腔室流动。本申请实施方式中的微流控器件通过压电薄膜与驱动电极之间的配合，利用驱动电极上施加的电信号驱动压电薄膜振动，实现对流体样品在微流道腔室内流动进行引导控制，从而使微流控过程无需连接外部驱动源而是直接通过可以集成于芯片的电极来实现对流体样品流动的驱动，从而提高了微流控芯片的集成化效果。