用于机器人关节的温度应变传感器及其制备方法

本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种用于机器人关节的温度应变传感器及其制备方法，其中温度应变传感器包括从上往下依次层叠设置的上织物封装层、上键合层、上电极层、敏感层、温度敏感层、下键合层和下织物封装层，在所述温度敏感层的内部设置有下电极层。本发明提出的一种温度应变传感器，具有小型化、超高柔性、实用性强等优点，采用上织物封装层和下织物封装层，对于机器人表皮的共形贴附、运行状态检测都有着很好的作用，能够实现40％大应变拉伸以及‑20℃‑30℃宽范围的温度检测范围，应变和温度的同时监测能够很好的判断机器人关节的健康状态。