一种基于机器视觉测量的高度矫正方法及系统

本申请涉及一种基于机器视觉测量的高度矫正方法及系统，该方法包括获取晶圆上的膜痕图像，利用机器视觉技术从膜痕图像中测量切割刀具的刀痕长度；根据刀痕长度，计算切割刀具的实际切入深度；将预设深度值与实际切入深度进行差值计算，计算确定切割刀具的高度修正值，并根据切割刀具的属性对高度修正值进行动态调整，切割刀具的属性包括材质及工作状态；根据高度修正值调整切割刀具的高度，且在切割刀具的调整过程中实时监测切割刀具的移动路径，若监测到移动路径偏差超过预设阈值，则发出路径校正提示。本申请具有提升切割精度的效果。