一种触觉传感阵列及其制备方法

本发明公开一种触觉传感器阵列，涉及传感器技术领域，包括软硬耦合封装层、附着设置于所述软硬耦合封装层上的电极层、通过粘合设置于所述软硬耦合封装层间的多级分段点阵支撑层，夹持设置在所述电极层间或所述电极层与所述软硬耦合封装层间的多孔离子介质层，多层阵列协同设置。本发明还公开了一种触觉传感器阵列制备方法，步骤为：制备多孔离子介质层，制备软硬耦合封装层，制备电极层，制备多级分段点阵支撑层，组装传感器阵列。本发明结构紧凑，协同紧密，能够兼具实现极佳的应变不敏感和串扰抑制表现，并且触觉单元响应具有较高线性度。