下置光源的图像传感器芯片的测试探针台

本公开提供了一种下置光源的图像传感器芯片的测试探针台，涉及图像传感器芯片电测探针台领域。本公开的探针台包括运动结构和测试结构；运动结构上设置有晶圆夹具，晶圆夹具为中空结构，在晶圆夹具的中空结构内设置有下置光源和真空玻璃吸盘，其中，真空玻璃吸盘用于固定待测试晶圆，待测试晶圆是由多个图像传感器芯片组合得到的，下置光源透过真空玻璃吸盘向待测试晶圆提供激励光；测试结构设置于运动结构包括晶圆夹具的一侧，用于对固定于真空玻璃吸盘上的待测试晶圆进行测试。