摘要
本发明涉及LED封装技术领域,公开了一种倒装Mini LED芯片及其制备方法、Mini LED器件及其制备方法,倒装Mini LED芯片的制备方法包括:提供一倒装Mini LED芯片晶圆;于衬底远离芯片层的一侧上设置第一缓冲膜,于第一缓冲膜上设置第一蓝膜,并对衬底和第一缓冲膜进行切割,得到单颗倒装Mini LED芯片;进行点测测试;于芯片层上设置第二缓冲膜,进行切割;并进行扩膜达到预设距离;进行分选,并分选至不同的第二蓝膜上;在第二缓冲膜上设置第三蓝膜,去除第一缓冲膜和第二蓝膜,漏出衬底;第一缓冲膜和第二缓冲膜均包括基板层和UV粘接层。实施本发明,缓冲膜在分选以及固晶时保护芯片层,避免倒装Mini LED芯片因为顶针导致芯破损,而且可以高效剥离,也不破坏芯片层结构。
技术关键词
缓冲膜
衬底
电流阻挡层
透明导电层
LED封装技术
晶圆
基板
电极
分选设备
保护芯片
UV光
顶针
外延
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