摘要
本申请涉及一种P型LDMOS、P型LDMOS运行方法和集成电路芯片,P型LDMOS包括衬底,设置于衬底上的第一埋层、设置于第一埋层上方的源极区、栅极区和漏极区,源极区和漏极区之间设有漂移区,P型LDMOS还包括:N体区,设置于漂移区内,N体区与漏极区连接;沟槽栅,沟槽栅的侧壁分别与N体区、漂移区和第一埋层接触,沟槽栅内填充有第二多晶硅;第一多晶硅,设置于漂移区的上表面,第一多晶硅与第二多晶硅连接。本申请的LDMOS具备高可靠性且面积成本低的特点。
技术关键词
多晶硅
集成电路芯片
沟槽栅
衬底
栅极信号
电压
掺杂区
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