一种基于边界追踪算法的半导体喷淋头点位推导检测方法

本发明公开了一种基于边界追踪算法的半导体喷淋头点位推导检测方法，涉及半导体制造相关的图像识别技术领域，首先基于边界追踪算法识别获取输入基础样本的基准图像信息，然后，基于边界追踪算法识别获取待检验图像的检验图像信息，从而根据基准图像信息及检测图像信息基于角度偏移量校正待检验图像，最后，通过基于边界追踪算法，以及基于基准图像信息中的基准圆点径宽以推算及标记各个邻近的检验圆点的轮廓区域，该方法利用边界追踪算法实现精准的点位识别与推导，为半导体喷淋头的质量检测提供了有效的技术手段。