具有用于均匀网格金属栅极和沟槽接触器切割的外延小块的集成电路结构

描述了具有用于均匀网格金属栅极和沟槽接触器切割的外延小块的集成电路结构。结构包括：水平纳米线的垂直堆，纳米线中的个体纳米线在纳米线的末端具有对应外延源极或漏极结构，沿着水平纳米线的垂直堆，外延源极或漏极结构彼此不连续。栅极电极位于水平纳米线的垂直堆之上。导电沟槽接触器与栅极电极相邻，导电沟槽接触器沿垂直方向包围外延源极或漏极结构中的个体外延源极或漏极结构。电介质侧壁分隔器位于栅极电极和导电沟槽接触器之间。电介质切割塞结构延伸通过栅极电极，通过电介质侧壁分隔器，并且通过导电沟槽接触器。