摘要
本发明公开了一种基于量子化学计算的SF6分解残留物的吸附分析方法、装置、电子设备及存储介质,所述方法包括:获取各待分析吸附体系的总能量、各SF6分解残留物的总能量、InTe单层的总能量以及各待分析吸附体系中SF6分解残留物与InTe单层之间的吸附距离;针对每一待分析吸附体系,根据当前待分析吸附体系的总能量、对应SF6分解残留物的总能量以及InTe单层的总能量,计算生成各待分析吸附体系的吸附能;根据各待分析吸附体系的吸附能以及各待分析吸附体系中SF6分解残留物与InTe单层之间的吸附距离,进行SF6分解残留物的吸附分析。通过实施本发明能够提升对气体传感器性能优化的理论指导价值。
技术关键词
分子结构模型
单层
分析方法
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分析装置
位点
修正方法
真空层
分析模块
电子设备
气体传感器
软件
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